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　　在工業(yè)化迅速發(fā)展的大時(shí)代，缺少不了壓力變送器、流量計、液位計、密度計、差壓變送器等儀表把現場(chǎng)第一數據實(shí)時(shí)傳輸到工控系統上，為整個(gè)工業(yè)自動(dòng)化系統充當控制、檢測等一系列的眼睛，接下來(lái)華恒儀表為您解讀工業(yè)現場(chǎng)最前沿的壓力變送器使用情況。 　　微壓薄膜壓力傳感器與常規量程的薄膜壓力傳感器相比，在工藝技術(shù)方面要困難得到多。具體來(lái)說(shuō)，微壓薄膜壓力傳感器的關(guān)鍵技術(shù)主要是以下幾個(gè)方面的關(guān)鍵技術(shù)需要重點(diǎn)研究。

　　1、彈性材料的研究

　　由于薄膜微壓傳感器彈性材料的厚度將減薄到0.3mm以下，給膜片加工帶來(lái)很大困難，尤其是表面拋光時(shí)間不能過(guò)長(cháng)，否則會(huì )造成厚度不均勻、平行度下降、內應力增大等現象。因此，要求彈性材料本身有良好的材質(zhì)和良好的彈性性能、強度，更好的熱穩定性，同時(shí)研究改變鍍膜工藝路線(xiàn)和方法，提高鍍膜工藝水平，以便在較粗糙的彈性膜片表面制造合格的絕緣薄膜。

　　2、彈性材料的加工

　　彈性體膜片減薄以后，加工是主要難題之一。由于膜片很薄，要保證膜片的厚度尺寸、平行度、光潔度等要求，現有傳感器的彈性體加工方法已不能使用，需研究新的彈性材料加工技術(shù)、手段和工藝，包括專(zhuān)用加工設備、工裝具、磨料、磨拋速度、磨拋壓力等工藝，以及磨拋過(guò)程監測與控制系統。設計低硬度的磨盤(pán)和不同的夾具，采用較低硬度的磨料，研究、摸索合適的壓力、轉速等參數，用“精密磨拋機”對彈性膜片作預減薄、研磨、拋光，再利用離子束進(jìn)行精減處理。

　　3、薄膜工藝研究

　　以多層絕緣層單位重疊組合，是提高芯片的絕緣性能的有效解決方案，通過(guò)雙層絕緣形式，使兩層絕緣膜的疵點(diǎn)和弱點(diǎn)相互遮掩，并提高耐壓強度。

　　4、激光調阻工藝研究

　　由于膜片減薄帶來(lái)的問(wèn)題關(guān)系到本項目產(chǎn)品能否滿(mǎn)足環(huán)境適應性能和可靠性要求，尤其關(guān)系到批量生產(chǎn)時(shí)產(chǎn)品的質(zhì)量一致性和可靠性保證，也是隨著(zhù)薄膜壓力傳感器在裝備中的應用劇增而提出，因此針對在各類(lèi)薄膜壓力傳感器中普及應用的新工藝進(jìn)行研究。研究激光調阻工藝的目的，是采用激光束對多層薄膜的中間層，即組成電橋的薄膜電阻條阻值進(jìn)行修正，取代人工繞制電阻串聯(lián)在橋臂中進(jìn)行補償的方法，提高產(chǎn)品的可靠性。

　　5、薄膜的穩定性研究

　　主要包括：材料加工后的應力、薄膜內應力、產(chǎn)品裝配等應力的加速消除，薄膜晶格及結構缺陷的穩定性處理等。研究方法包括低溫時(shí)效、疲勞、退火、超聲振動(dòng)等。傳感器的穩定性評定研究的目的是在較短時(shí)間內測量給出傳感器的年漂移量。研究方案是通過(guò)統計個(gè)別和批量產(chǎn)品在一定條件下（溫度、壓力載荷等）的漂移趨勢導出穩定性指標。以上這些關(guān)鍵技術(shù)的解決，對于提高我國薄膜壓力傳感器產(chǎn)業(yè)的整體技術(shù)水平具有重要的意義。

　　微壓薄膜壓力傳感器設計技術(shù)平臺研究?jì)热荩?/p>

　　1）從事薄膜壓力傳感器研究、設計的人才梯隊的建設。

　　2）建立薄膜微壓傳感器彈性體設計數據庫。

　　3）研究建立適用于激光調阻的應變電橋版圖設計數據庫。

　　4）用于薄膜微壓傳感器弱信號處理的典型電路圖和仿真。

　　5）用于薄膜壓力傳感器的非線(xiàn)性、溫度漂移補償的典型數字電路圖。

　　6）能滿(mǎn)足表壓和絕壓密封要求的薄膜微壓傳感器系列產(chǎn)品結構圖庫。

　　微壓薄膜壓力傳感器制造工藝技術(shù)平臺研究?jì)热荩?/p>

　　1）形成完整的、能有效指導生產(chǎn)的薄膜微壓傳感器生產(chǎn)工藝文件。

　　2）設計用于薄膜微壓傳感器彈性膜片研磨、拋光的設備和工裝。

　　3）固化薄膜壓力傳感器多層復合薄膜濺射工藝、激光調阻等工藝。

　　4）設計改進(jìn)薄膜壓力傳感器傳統的引線(xiàn)、封裝方式，固化工藝。

　　微壓薄膜壓力傳感器檢測技術(shù)平臺研究?jì)热荩?/p>

　　1）建設壓力傳感器靜態(tài)性能試驗室，恒溫精度±1℃。

　　2）設計微壓傳感器靜態(tài)性能標定設備。

　　3）設計加工微壓傳感器溫度特性試驗用溫度—壓力試驗裝置，-55℃～+150℃。

　　4）設計微壓薄膜傳感器壽命試驗專(zhuān)用壓力循環(huán)試驗設備。

　　5）制定各項試驗的試驗程序、試驗方法等文件。本文源自澤天傳感，版權所有，轉載請保留出處。

　　儀器儀表是工業(yè)化進(jìn)程的基石，只有選用工業(yè)現場(chǎng)選用合適的儀表，才能夠事半功倍，自動(dòng)化流程才能夠更加自動(dòng)化。